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期刊文章 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计
出处:光学技术 2009年第4期615-617,621共4页
摘要:351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投... 显示全部
关键词: 准分子激光器 均束器 光波导管 光刻 无缝扫描 光学设计
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期刊文章 印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析
出处:量子电子学报 2009年第3期 360-365,共6页
摘要:针对351nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(P... 显示全部
关键词: 激光技术 均束器 激光投影成像光刻 准分子激光 印刷电路板 加工窗
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期刊文章 准分子激光均束器及其研究进展
出处:中国科技博览 2009年第7期 66-67,共2页
摘要:以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准... 显示全部
关键词: 准分子激光 均束器 光刻 加工窗
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