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期刊文章 MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验
出处:仪器仪表学报 2009年第7期 1368-1372,共5页
摘要:通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术(MOEMS)制造的光栅平动式光调制器GMLM,它可以利用衍射原... 显示全部
关键词: 光栅平动式光调制器 微光机电系统 吸合电压 边缘场效应
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期刊文章 光栅平动式光调制器的残余应力自测量方法和试验
出处:机械工程学报 2010年第8期 12-17,共6页
摘要:对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构... 显示全部
关键词: 光栅平动式光调制器 微光机电系统 残余应力自测量方法 吸合电压
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