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期刊文章 反应蒸发制备nmSi—SiOx发光薄膜
出处:真空科学与技术 1999年第5期 331-335,共5页
摘要:报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx薄膜,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜,研究了不同条件... 显示全部
关键词: 反应蒸发 发光 薄膜 纳米硅 氧化硅
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