摘要：提出一种压电效应和电磁效应相结合的微型能量采集器,基础结构为压电换能器（PZT）基八悬臂梁、长有Au线圈...提出一种压电效应和电磁效应相结合的微型能量采集器,基础结构为压电换能器（PZT）基八悬臂梁、长有Au线圈质量块、铷铁硼（Nd Fe B）永磁体。利用有限元分析软件ANSYS对微结构建立模型,通过结构力学特性分析,得到所设计结构的一阶谐振频率为214.7 Hz,为后期测试提供指导意义。制定微机电系统（MEMS）加工工艺流程,利用L-Edit软件设计并绘制所需掩模版。利用溶胶—凝胶（sol-gel）技术制备厚度为3 529 nm的PZT压电厚膜,实现了其与基底Pt/Ti/Si O2/Si/Si O2的良好异质集成,完成微型能量采集器制造过程中关键一步。经介电性能测试,PZT厚膜具有双蝴蝶状的极化反转峰,体现出较高的介电性能和耐压强度。400 k V/cm驱动条件下,测得PZT厚膜的电滞回线,其剩余极化强度Pr为37.7μC/cm2,矫顽场强为41.2 k V/cm,表现出良好的铁电性能。显示全部
