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期刊文章 薄膜厚度对Au/ZnO/n+-Si薄膜压敏电阻器阈值电压的影响
出处:功能材料与器件学报 2011年第2期179-182,150共5页
摘要:本文采用直流磁控溅射法和多次沉积与掩膜技术,在n+Si(100)衬底上制备了一系列厚度不同的ZnO薄膜,表面镀... 显示全部
关键词: 薄膜 压敏电阻器 阈值电压 薄膜厚度
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