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期刊文章 三元混晶膜的表面激子极化激元
出处:光电子.激光 2010年第7期1026-1030,共5页
摘要:运用麦克斯韦方程组和波恩-黄昆(Born-Huang)近似,对几种典型膜材料的三元混晶(TMC)膜中的表面激子极化... 显示全部
关键词: 表面激子极化激元 三元混晶 半导体薄膜
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期刊文章 热场对雾化裂解CVD沉积的薄膜厚度均匀性的影响
出处:材料科学与工程学报 2003年第4期 494-497,共4页
摘要:本文利用计算机程序简单模拟了圆盘状加热器和圆筒状加热器的热场分布,研究了热场对雾化裂解CVD法生长的半... 显示全部
关键词: 热场 雾化裂解 沉积 半导体薄膜 厚度 均匀性 加热器
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期刊文章 非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
出处:无机材料学报 2000年第1期 179-182,共4页
摘要:碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构的性质最关键的工艺参数。采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬... 显示全部
关键词: 非晶金刚石薄膜 拉曼光谱 表面形貌 半导体薄膜
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期刊文章 PECVD硅化钛的淀积和性质
出处:微电子学与计算机 1989年第4期 6-8,共3页
关键词: 淀积 半导体薄膜
找到4条结果
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