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期刊文章 基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用
出处:上海交通大学学报 2013年第2期230-235,共6页
摘要:针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到... 显示全部
关键词: 半导体晶圆制造系统 批处理 瓶颈 调度
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