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期刊文章 热丝CVD大面积金刚石薄膜的生长动力学研究
出处:新型炭材料 2005年第3期 229-234,共6页
摘要:在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman... 显示全部
关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 动力学生长 模拟计算
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