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期刊文章 SrTiO3陶瓷基片集群磁流变研磨加工表面特性研究
出处:中国机械工程 2013年第15期2000-2004,共5页
摘要:采用集群磁流变效应研磨加工工艺进行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析了研磨盘材料、磨粒种类、研磨压力和磨... 显示全部
关键词: 陶瓷 集群磁流变效应 研磨 划痕
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期刊文章 化学机械抛光参数对声发射特征的影响
出处:无损检测 2017年第8期7-10,25共5页
摘要:化学机械抛光(CMP)是实现晶圆全局平坦化的主要手段,分析CMP过程的声发射特征对探究CMP机理、监测CMP过程... 显示全部
关键词: 化学机械抛光 声发射 划痕
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