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期刊文章 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计
出处:光学技术 2009年第4期615-617,621共4页
摘要:351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投... 显示全部
关键词: 准分子激光器 均束器 光波导管 光刻 无缝扫描 光学设计
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期刊文章 大面积激光投影成像曝光技术
出处:装备制造技术 2009年第5期 38-40,共3页
摘要:介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程,阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠... 显示全部
关键词: 激光投影成像曝光 准分子激光器 大面积激光扫描 对准 无缝误差
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