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期刊文章 Al2O3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征
出处:机械科学与技术 2005年第8期 929-931,973,共4页
摘要:以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征.研究表... 显示全部
关键词: 准分子激光加工 表面形貌 形貌参数特征
期刊文章 准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究
出处:中国机械工程 2002年第19期 1692-1695,共4页
摘要:用紫外波长为λ=248nm的准分子激光器,分辨率为50nm的精密微动工作台及其控制器,在一定的工艺参数下,对Al2O... 显示全部
关键词: 数据处理 准分子激光加工 表面微观形貌 统计参数计算 维数字化处理
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