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期刊文章 基于CCD检测微机控制的光干涉微位移自动化测量新方法
出处:五邑大学学报:自然科学版 2002年第4期 44-47,共4页
摘要:光干涉法可以测量物体的微小位移,提高测量微小位移的分辨率及对移动方向的自动判断,具有工程应用的实际价... 显示全部
关键词: 检测 微机控制 微位移 自动化测量 分辨率 光干涉法 电荷耦合器件 光电转换
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期刊文章 纳米级润滑膜厚度测量研究
出处:仪器仪表学报 1995年第S1期148-152,共5页
摘要: 在超精密机械中,摩擦副(特别是点、线接触的摩擦副)常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技... 显示全部
关键词: 厚度测量 纳米级 相对光强原理 润滑膜厚度 薄膜润滑 分辨率 测量仪 光干涉法 基本原理 测试技术
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