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期刊文章 一种新型投影曝光调焦方法
出处:应用光学 2013年第3期430-435,共6页
摘要:摘要:为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(M... 显示全部
关键词: 投影光刻 光学设计软件 调制传递函数 离焦 调焦
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