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期刊文章 硅基微通道板微孔结构形貌的实验研究
出处:激光与光电子学进展 2012年第5期 160-164,共5页
摘要:硅基微通道板(MCP)的重要技术挑战之一就是如何在硅基上制作高深宽比的微孔阵列结构。采用光助电化学刻蚀... 显示全部
关键词: 光学器件 微孔阵列 光助电化学刻蚀 空间电荷区 深宽比 探测器
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期刊文章 硬X射线相位光栅的设计与研制
出处:物理学报 2010年第10期6927-6932,共6页
摘要:针对在普通实验室和医院实现40—100keVX射线相衬成像的需求,考虑到成像系统参数、X射线源空间相干特性及光... 显示全部
关键词: 射线 相衬成像 相位光栅 硅刻蚀 光助电化学刻蚀
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