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期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的制作
出处:光子学报 2004年第6期 755-757,共3页
摘要:硅光栅的制作可以利用湿法腐蚀体硅工艺.湿法腐蚀利用硅的各向异性,由硅的晶面形成光栅工作凹槽,利用湿法工... 显示全部
关键词: 硅片 闪耀光栅 体硅技术 湿法腐蚀
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