聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计
出处:微细加工技术 2003年第4期 18-21,26,共5页
摘要:利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以... 显示全部
关键词: 闪耀光栅 偏晶向硅片 体硅 湿法腐蚀 微制造
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`