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期刊文章 低温沉积陶瓷涂层技术的研究进展
出处:材料导报 2005年第7期 76-78,共3页
摘要:对当前低温沉积陶瓷涂层的技术进行了综述,包括液相沉积法、溶胶-凝胶法等,并分析了各种低温沉积技术的优缺... 显示全部
关键词: 低温沉积 研究进展 涂层技术 溶胶一凝胶法 沉积技术 液相沉积法 陶瓷涂层 发展前景 优缺点
期刊文章 等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断
出处:华南师范大学学报:自然科学版 2006年第2期 61-65,共5页
摘要:采用射频TCP(Transverse coupled pluma)等离子体辅助电子枪蒸发技术首次在室温下制备了氮化铝薄膜,用傅... 显示全部
关键词: 氮化铝 离子源 低温沉积 朗缪尔探针
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期刊文章 离子镀硬质膜技术的最新进展和展望
出处:真空 2000年第1期1-11,共11页
摘要:电弧离子镀至今仍是硬质膜的主流技术,但是,其内容与80年代比已大为丰富。首先,镀层材料由单一氮化钛... 显示全部
关键词: 硬质新材料 低温沉积 硬质膜技术 离子镀
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