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期刊文章 准分子激光晶化制备TFT多晶硅薄膜的研究进展
出处:微电子学 2006年第1期 70-74,共5页
摘要:对准分子激光晶化制备TFT用多晶硅薄膜的研究进展进行了综述。介绍了晶化过程中的超级横向生长现象。主要结... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 准分子激光晶化 人工控制超级横向生长
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