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期刊文章 磁控溅射TiO2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究
出处:真空科学与技术学报 2007年第2期 155-158,共4页
摘要:采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不... 显示全部
关键词: 薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度
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