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期刊文章 反应溅射AlN的模拟
出处:真空科学与技术学报 2007年第5期 377-379,共3页
摘要:研究了用反应磁控溅射的方法制备氮化铝薄膜。由于铝和氮化铝二次电子发射系数有很大的不同,导致制备时会在... 显示全部
关键词: 模拟 氮化铝 反应溅射 二次电子发射系数
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