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期刊文章 掺杂浓度对中频反应磁控溅射制备Al2O3:Ce^3+薄膜发光性能的影响
出处:真空 2009年第2期33-37,共5页
摘要:应用中频反应磁控溅射设备在载玻片上制备掺铈的Al2O3薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为23sccm,氧流量为5... 显示全部
关键词: 三氧化二铝薄膜 中频反应磁控溅射 掺杂浓度 光致发光
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期刊文章 掺杂浓度对中频反应磁控溅射制备Al2O3:Ce^3+薄膜发光性能的影响
出处:功能材料与器件学报 2007年第6期 543-548,共6页
摘要:应用中频反应磁控溅射设备在载玻片上制备掺铈的Al2O3薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为23sccm,氧流量... 显示全部
关键词: 三氧化二铝薄膜 中频反应磁控溅射 掺杂浓度 光致发光
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