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期刊文章 具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统
出处:仪器仪表学报 2006年第7期 661-665,共5页
摘要:在基于原子力显微镜的纳米操作过程中,由于缺乏实时反馈信息,造成纳米操作效率低下且灵活性差,同时探针... 显示全部
关键词: 原子力显微镜 纳米操作 三维纳米力
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