中文会议： 粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会论文集

会议日期： 2017-12-28

会议地点： 中国广东惠州

主办单位： 广东省科学技术协会

出版日期： 2017-12-28

作　　者： ;

机构地区： 广东工业大学机电工程学院

出　　处： 《粤港澳大湾区真空科技与宽禁带半导体应用高峰论坛暨2017年广东省真空学会学术年会》

摘　　要： 现代硬质涂层的发展趋于多元化、纳米化和多层化,如在TiN、CrN等涂层里加入一些C、Al、Zr等元素形成固溶强化涂层,提高涂层的硬度、耐磨性和抗氧化性;加入Si、B元素在涂层中生成包含纳米相和非晶相的纳米复合涂层,如Me-Si-N(Me=Ti,TiAl等);或者制备纳米层状或超晶格涂层,如TiN/AlN纳米多层涂层等;通过梯度或多层的涂层设计提高涂层对基体的结合力、涂层韧性和抗裂纹扩展能力,实现各

关 键 词： 多元多层涂层 复合 涂层技术 涂层微观结构 涂层性能 涂层刀具切削

领　　域： []