中文会议： 粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集

会议日期： 2018-11-30

会议地点： 中国广东肇庆

主办单位： 广东省真空产业技术创新联盟;广东省真空学会

作　　者： ;

机构地区： 广州今泰科技股份有限公司

出　　处： 《粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会》

摘　　要： 利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术在316不锈钢基体表面制备不同掺氮量的a-C:H(N)薄膜。利用快速红外退火炉对a-C:H(N)薄膜进行退火处理,采用拉曼光谱研究了退火态薄膜的结构变化,使用微纳米力学综合测量系统对不同退火态薄膜的硬度进行了表征。结果表明,相对于a-C:H薄膜,低氮掺杂可以明显地提高沉积态薄膜中的sp~3含量,抑制其高温等温时的石墨化进程。但低氮掺杂增加不稳定碳原子数量

关 键 词： 退火处理 石墨化 拉曼光谱 硬度

领　　域： []