中文会议： TFC’17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议日期： 2017-08-19

会议地点： 中国安徽合肥

主办单位： 中国真空学会薄膜专业委员会

出版日期： 2017-08-19

作　　者： (）;

机构地区： 广州今泰科技股份有限公司

出　　处： 《TFC’17全国薄膜技术学术研讨会》

摘　　要： 本文将以316L不锈钢为基的类金刚石(DLC)涂层进行了退火处理。退火温根据差示扫描量热法结果分析后选定。采用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱(Raman spectroscopy)、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、纳米压痕测试(nano-indentation)、3D表面形貌仪和摩擦磨损等手段对涂层表面形貌、微观结构和力学性能进行表征分析。结果显示,在低于430℃时,涂层的表面形貌

关 键 词： 类金刚石 热稳定性 表面形貌 微观结构 力学性能

领　　域： [] []