中文会议： 粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集

会议日期： 2018-11-30

会议地点： 中国广东肇庆

主办单位： 广东省真空产业技术创新联盟;广东省真空学会

作　　者： ; ;

机构地区： 广东工业大学机电工程学院

出　　处： 《粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会》

摘　　要： 为探究纳米结构硬质涂层的塑性变形机制,并建立塑性变形机制与涂层致硬机理之间的关联,本文系统研究了晶粒细化对纳米结构硬质涂层塑性变形机制的影响。薄膜沉积过程中加载基体偏压以及掺杂活性元素均能细化ZrN涂层晶粒,从而影响ZrN涂层的塑性变形行为。加载基体偏压以及掺杂活性元素导致ZrN晶粒发生细化后,细晶ZrN涂层的塑性变形行为仍由位错滑移机制以及微裂纹萌生与扩展机制驱动,且微裂纹扩展路径仍为ZrN柱状

关 键 词： 硬质涂层 晶粒细化 塑性变形 致硬机理

领　　域： []