中文会议： 粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会论文集

会议日期： 2018-11-30

会议地点： 中国广东肇庆

主办单位： 广东省真空产业技术创新联盟;广东省真空学会

作　　者： ; ; ;

机构地区： 暨南大学

出　　处： 《粤港澳大湾区真空科技创新发展论坛暨2018年广东省真空学会学术年会》

摘　　要： 基于原子层沉积（ALD）技术,通过界面引入超薄钝化层和电子传输层,我们构建了高性能全无机钙钛矿光电探测器。首先,为了提升探测器的响应灵敏度以及弱光探测极限,我们在FrO与钙钛矿光活性层之间用ALD工艺沉积1.5 nm的Al2O3薄膜作为钝化层,器件暗电流可显著降低3个数量级以上,对4.3 nW/cm2的弱光依然有明显光响应;进一步,为了有效增强钙钛矿光活性层在界面的载流子分离效率,我们通过A

关 键 词： 原子层沉积技术 全无机钙钛矿 光电探测器

领　　域： []