可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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作 者： (郭军）; (党军杰）; (李建青）; (张浩）; (崔嵩）;
机构地区： 中国电子科技集团公司第四十三研究所
出 处： 《真空电子技术》
摘 要： 本研究阐述了氮化铝(AlN)陶瓷激光切割的工作原理,并通过对影响AlN陶瓷激光切割深度的激光功率、频率、脉宽、加工速度以及辅助气压等工艺参数因素进行试验和分析,得出了光纤激光切割氮化铝陶瓷材料的最优参数范围。
分 类 号： [TQ174.6]
