作　　者： (张忠义）; (徐日宏）; (张振华）; (王琦）; (姜宏）;

机构地区： 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司

出　　处： 《材料开发与应用》

摘　　要： 使用立式连续直线镀膜生产线,采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O5/Si O2/Nb2O5/Si O2/CNx多层纳米硬质增透薄膜,并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明:通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,钻面玻璃产品的表面硬度达994.8 HV,是普通玻璃的2倍以上;在可见光透过率≥94%,具有一定的增透效果;经过酸/碱/溶剂/热处理后的透过率衰减ΔT<0.1%,理化性能优良。

分 类 号： [TQ174.6]