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氧氩混合气氛下脉冲激光沉积法制备YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的研究
Investigation of YBa_2Cu_3O_(7-δ) Film Deposited in O_2/Ar Mixture Atmosphere by Pulsed Laser Deposition

作  者: (代秀红); (张宇生); (葛大勇); (娄建忠); (赵红东); (刘保亭);

机构地区: 河北工业大学电子信息工程学院,天津300401 河北大学物理科学与技术学院,保定071002

出  处: 《人工晶体学报》 2017年第8期1464-1469,共6页

摘  要: 利用脉冲激光沉积法(PLD),在质量流量比为1∶3的氧气和氩气的混合气氛下,在STO(001)基片上制备了外延的YBa_2Cu_3O_(7-δ)(YBCO)超导薄膜。尽管薄膜表面分布有亚微米到微米量级颗粒,但与传统PLD制备YBCO的方法相比,大颗粒的密度要小得多。直流电阻和磁化率测量法同时证明了YBCO薄膜的超导转变温度(T_c)大于90 K。在40 K时,零场临界电流密度(J_c)为63.8 MA/cm^2,在5.2 T时达到最大钉扎力密度(F_(pmax))387.9 GN/m^3;在65 K时,零场Jc为28.3 MA/cm^2,在2.6 T时F_(pmax)达到71.3 GN/m^3;在77 K时,零场J_c为8.7 MA/cm^2,在0.91T时F_(pmax)达到12.1 GN/m^3。研究结果为氧气和氩气混合气氛下PLD方法制备YBCO薄膜提供了重要实验数据。 The YBa2Cu3O(7-δ)( YBCO) superconducting film was fabricated epitaxially on STO( 001)substrate by pulsed laser deposition method( PLD) in O2/Ar mixture atmosphere with the mass flow rate ratio of 1:3. The density of the particles with submicron to micron-sized distributed on the film surface is lower compared with the YBCO film deposited by traditional PLD method. The supconducting transition temperature( Tc) is above 90 K measured by DC resistance as well as the magnectic susceptibility. The zero field critical current density( Jc) is 63. 8 MA/cm^2,28. 3 MA/cm^2 and 8. 7 MA/cm^2 at 40 K,65 K and 77 K,respectively. The flux pinning force density reaches the maximum of 387. 9 GN/m^3 at 5.2 T,71. 3 GN/m3 at 2. 6 T,and 12. 1 GN/m^3 at 0. 91 T at 40 K,65 K and 77 K,respectively. The experimental results provide valuable reference for further study of superconducting films deposited in Ar/O2 mixture atmosphere by PLD method.

关 键 词: 脉冲激光沉积 氧氩混合气氛 超导薄膜 临界电流密度 磁通钉扎力密度

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