中文会议： 第三次全国会员代表大会暨学术会议论文集

出版方 ： 中国仪器仪表学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 南开大学电子信息与光学工程学院现代光学研究所

出　　处： 《第三次全国会员代表大会暨学术会议》

摘　　要： 大尺寸集成芯片引脚外观检测一直是电子集成电路器件生产线上的一个重要环节,目前尚无较成熟的自动检测设备,在此介绍一种针对40脚以上集成芯片引脚外观的光电自动检测系统,其可以实现引脚的内外倾角、左右倾角和横向尺寸的检测,采用亚像素细分的方法,使长度测量分辨率达到四十分之一像素。

关 键 词： 集成芯片引脚 光电检测 亚像素

分 类 号： [TN405]

领　　域： [电子电信]