中文会议： 中国真空学会2014学术年会论文摘要集

会议日期： 2014-11-07

会议地点： 中国广东广州

出版方 ： 中国真空学会

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 深圳大学物理科学与技术学院

出　　处： 《中国真空学会2014学术年会》

摘　　要： 热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。P型ZnSb基和N型CoSb基热电材料是中温区最具有发展前景的热电材料之一。近年来研究发现,热电材料薄膜化有助于降低热电材料的热导率,从而能够有效的提高材料的热电转换效率,因此具有十分重要的科学研究价值。本文将着重的介绍我们采用离子束溅射技术和磁控溅射技术制备P型ZnSb基和N型CoSb基热电薄膜的相关研究进展。我们主要通过研究制备

关 键 词： 热电材料 热电薄膜 型 型

分 类 号： [TB383.2]

领　　域： [一般工业技术]