中文会议： 第十一届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集）

会议日期： 2006-08-20

会议地点： 中国山东青岛

出版方 ： 中国光学学会光学测试专业委员会

作　　者： ; ; ;

机构地区： 深圳大学师范学院

出　　处： 《第十一届全国光学测试学术讨论会》

摘　　要： <正>脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,简称PLD)是20世纪80年代末发展起来的一种新型薄膜制备技术,它最早被用于沉积以YBCO为代表的高温超导薄膜,由于其具备保持组分不变(可制备与靶材组分一致的多元化合物薄膜)、适用范围广(可制备包括部分有机材料在内的各种薄膜材料)、沉积速率高等优点,上世纪末已被广泛应用于铁电体、半导体、金刚石或类金刚石以及有机物薄膜的沉积,并在制

分 类 号： [O484.4]

领　　域： [理学] [理学]