中文会议： 第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集

会议日期： 2008-11-30

会议地点： 中国广东广州

出版方 ： 中国电子学会半导体与集成技术分会、电子材料分会

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室

出　　处： 《第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议》

摘　　要： 采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在（0002）方向有明显的c轴择优取向。随着Mg原子含量的提高,薄膜由六角单相转化为六角相和立方相的混合相。MgxZn1-xO合金薄膜的透射谱表明,薄膜的透射率略有下降,但在可

关 键 词： 薄膜 射线衍射 透射光谱

分 类 号： [O484.41]

领　　域： [理学] [理学]