中文会议： 中国光学学会2006年学术大会论文摘要集

会议地点： 广东广州

出版方 ： 中国光学学会

作　　者： ; ; ; (张光永）;

机构地区： 华中科技大学

出　　处： 《中国光学学会2006年学术大会》

摘　　要： 可变形反射是自适应光学系统的关键部件。本文介绍了一种新型的利用激光驱动的可变形反射镜。此装置包括三个部分:以聚脂薄膜为主体做成的2μm厚的镜面,支撑镜面的5μm高栅格状的支撑柱,以及由光敏材料GaAs构成的衬底,同时在镜面与衬底之间施加偏置的高频交流电压。当衬底背面被激光照亮时,GaAs中载流子的变化导致镜面与衬底之间电阻的重新分布,从而镜面与衬底之间电压发生变化,因此在静电力的作用下镜面将会发生

关 键 词： 自适应光学 可变形反射镜 光驱动 光学特性

领　　域： [机械工程] [机械工程] [机械工程]