中文会议： 第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文集

会议日期： 2014-10-01

会议地点： 武汉

主办单位： 中国机械工程学会,中国表面工程协会

出版方 ： 中国机械工程学会表面工程分会、中国表面工程协会

作　　者： ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 华南理工大学材料科学与工程学院

出　　处： 《第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛》

摘　　要： 　　采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的TI-TIN-ZR-ZRN软硬交替多元多层膜.用扫描电镜,X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪、3D表面形貌仪等,研究探讨了多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能等.结果表明：所制备TI-TIN-ZR-ZRN多层膜,厚度约为5.8μM,维氏显微硬度为28.1GPA,膜基结合力56N；TC11钛合金表面经镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10-3M3/N·M降低到3.03×10-14M3/N·M；多层膜软硬交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹在金属软层中出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用.

关 键 词： 多层膜 钛合金 冲蚀 真空阴极电弧沉积

分 类 号： [O48 TG1]

领　　域： [理学] [理学] [金属学及工艺]