中文会议： 传感技术学报

会议日期： 2006-09-21

会议地点： 南京

主办单位： 中国仪器仪表学会,中国机械工程学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 天津大学电子信息工程学院

出　　处： 《第八届中国微米/纳米技术学术年会》

摘　　要： 本文研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用P+,P-两种掺杂浓度的硅片基底,采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀时间和腐蚀电流密度获得不同微结构参数的多孔硅层.分别采用显微拉曼光谱法及测量显微镜聚焦法测量了样品的热导率和厚度.研究发现,多孔硅层厚度影响热量传输路径,而孔隙率和微晶粒尺寸通过降低热导率从而使多孔硅的绝热性增强.

关 键 词： 多孔硅 孔隙率 微晶粒 电化学腐蚀 显微拉曼光谱 热导率 绝热性 微结构参数

分 类 号： [T]

领　　域： [一般工业技术]