中文会议： 2009全国功能材料科技与产业高层论坛论文集

会议日期： 2009-11-02

会议地点： 江苏镇江

主办单位： 中国仪器仪表学会

作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 华南师范大学化学与环境学院

出　　处： 《2009全国功能材料科技与产业高层论坛》

摘　　要： 探讨了采用ICP-AES法同时测定多晶硅中的FE、AL、CA、MN、CU、CR,NI、TI、ZN、AS、P、B等12种杂质元素,该方法测定的元素相对标准偏差(RSD)均＜2.4％,回收率为92％～104.8％,方法检出限低,测定结果准确可靠。

关 键 词： 法 多晶硅 杂质测定 标准偏差

分 类 号： [T]

领　　域： [一般工业技术]