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飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验和理论研究

中文会议: 2004年全国强场激光物理会议论文集

会议日期: 2004-11-02

会议地点: 福建武夷山

主办单位: 中国高等科学技术中心,中科院上海光学精密机械研究所

作  者: ; ; ; ; ; ;

机构地区: 中国科学院上海光学精密机械研究所

出  处: 《2004年全国强场激光物理会议》

摘  要: 本文实验研究了800NM飞秒激光作用下石英玻璃的破坏机制和烧蚀规律,给出了破坏阙值与脉冲宽度的关系。发展了雪崩击穿模型,理论计算了材料的烧蚀阈值与脉冲宽度的依赖关系,烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系,研究了导带电子的扩散对材料中激光能量的沉积、分布、材料的破坏阂值和烧蚀规律的影响。

关 键 词: 飞秒激光脉冲 破坏机制 石英玻璃 电子扩散

分 类 号: [T]

领  域: [一般工业技术]

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