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碳纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

中文会议: 上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集

会议日期: 2004-12-01

会议地点: 上海

主办单位: 上海市真空学会,中国真空学会

作  者: ; ; ; ; ; ; ; ; ;

机构地区: 上海交通大学

出  处: 《上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会》

摘  要: 本文从碳纳米材料,特别是碳纳米管或纤维薄膜的的制备工艺、结构性能及其作为发射电子的冷阴极在场发射器件中的应用进行了综速.重点叙速了在新型平面显示器(FED)、节能光源、压力传感器、微波管等器件方面的应用.同时报道了新近研制成功场发射性能优异的高真空封装的FED原型器件,使研制实用化的FED取得了突破。

关 键 词: 碳纳米材料 冷阴极 场发射器件 化学气相沉积 碳纳米管

领  域: [一般工业技术]

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