中文会议： 第三届四川省光电技术学术交流会论文集

会议日期： 2000-06-30

会议地点： 成都

主办单位： 四川省电子学会；四川省光学学会

出版方 ： 中国光学学会

出版日期： 2000-11-30

出版地： 成都

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 四川大学

出　　处： 《第三届四川省光电技术学术交流会》

摘　　要： 该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。

关 键 词： 在线检测 超精细 微观形貌 激光轮廓仪

分 类 号： [TN248]

领　　域： [电子电信]