中文会议: 第八届全国LED产业研讨与学术会议论文集
会议日期: 2002-09-13
会议地点: 青岛
主办单位: 中国物理学会
机构地区: 华南理工大学材料科学与工程学院
出 处: 《第八届全国LED产业研讨与学术会议》
摘 要: 本文在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液,获得了速度快、重复性好、数据准确可靠的测试效果.
关 键 词: 电解液 电化学 半导体 外延片 载流子浓度分布 参数测试
分 类 号: [TN]
领 域: [电子电信]