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电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

中文会议: 第八届全国LED产业研讨与学术会议论文集

会议日期: 2002-09-13

会议地点: 青岛

主办单位: 中国物理学会

作  者: ; (华南师范大学);

机构地区: 华南理工大学材料科学与工程学院

出  处: 《第八届全国LED产业研讨与学术会议》

摘  要: 本文在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液,获得了速度快、重复性好、数据准确可靠的测试效果.

关 键 词: 电解液 电化学 半导体 外延片 载流子浓度分布 参数测试

分 类 号: [TN]

领  域: [电子电信]

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