中文会议： 光学精密工程

会议日期： 2004-07-01

会议地点： 重庆

主办单位： 中国仪器仪表学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室

出　　处： 《2004第四届精密工程学术研讨会》

摘　　要： 近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.

关 键 词： 微机械 微光学 微光机电系统 微型组件 自动控制

领　　域： [机械工程]