中文会议： 第十七届全国激光学术会议论文集

会议日期： 2005-10-19

会议地点： 四川绵阳

主办单位： 中国电子学会

作　　者： ; ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 中国工程物理研究院应用电子学研究所

出　　处： 《第十七届全国激光学术会议》

摘　　要： 从单层ZrO2薄膜和单层SiO2薄膜的两种主要损伤形貌出发,分析产生这两种损伤形貌的原因,说明了这两种膜料的单层溶胶-凝胶化学膜损伤机理,即单层ZrO2薄膜的损伤主要由热冲击造成,而单层SiO2薄膜的损伤主要由热吸收造成.还提出了提高这两种膜料的溶胶-凝胶化学膜激光损伤阈值的方法.

关 键 词： 薄膜 溶胶 凝胶 损伤机理 热冲击 热吸收

领　　域： [理学]