中文会议：
第三届全国微全分析系统学术会议论文集
会议日期：
2005-10-10
会议地点：
武汉
主办单位：
中国化学会
作 者：
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机构地区：
中固科学院
出 处：
《第三届全国微全分析系统学术会议》
摘 要：
本文基于MEMS技术设计制作了硅微结构的条栅状过滤器,用于分离的研究,给出了具体的制作工艺,并用碳化硒微粒做了原理实验以检验其过滤性能.此结构过滤器及工艺方法可为同行参考,并为进一步微流体分离研究提供实验依据.
关 键 词：
微机械加工
硅微结构
条栅状过滤器
分析化学
分 类 号：
[TN]
领 域：
[电子电信]
