中文会议： 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议日期： 2006-09-01

会议地点： 北京

主办单位： 中国材料研究学会

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 兰州大学物理科学与技术学院

出　　处： 《2006北京国际材料周暨中国材料研讨会》

摘　　要： 利用磁控射频溅射法在石英衬底上制备了纳米SiC薄膜.研究了衬底温度对薄膜的结构,电学和光学性能的影响.X射线衍射(XRD)与原子力显微镜(AFM)结果表明,衬底温度为700℃时制备的薄膜是由平均直径为70nm结晶状态良好的4H-SiC纳米颗粒组成.实验测量了样品的电导率随温度的变化关系,并计算出相应的电导激活能.利用紫外-可见分光光度计研究了衬底温度对薄膜光学性能的影响,结果表明纳米SiC薄膜的光学带隙可以通过改变衬底温度来调节.这种带隙可调的纳米SiC薄膜在未来的光电器件应用领域将会有一定的实用价值.

关 键 词： 磁控射频溅射法 纳米 薄膜 电导率 透过谱 光学性质

领　　域： [电子电信]