中文会议： 广东省真空学会第八届学术交流会论文集

会议日期： 2006-10-01

会议地点： 广州

主办单位： 中国真空学会

作　　者： ; ; ;

机构地区： 华南理工大学电子与信息学院

出　　处： 《广东省真空学会第八届学术交流会》

摘　　要： 本文基于LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统.利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪的部分动作的目标.该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率。

关 键 词： 虚拟仪器技术 氦质谱检漏仪 监控系统 真空检漏

领　　域： [电子电信]