中文会议： 第十一届全国包装工程学术会议暨包装动力学专委会成立20周年大会论文汇编

会议日期： 2007-08-19

会议地点： 郑州

主办单位： 中国振动工程学会

作　　者： ; ;

机构地区： 湖北大学

出　　处： 《第十一届全国包装工程学术会议暨包装动力学专委会成立20周年大会》

摘　　要： 提出了扩晶装置的结构.该装置可完成片盒、内圈和外圈的输入和取片动作,实现扩晶过程张紧力的调节控制、分离晶圆和衬架、排出空片盒和废弃的衬架等.特别讨论了取片和扩晶动作的结构和原理.各零件和动作相互配合,能用内外圈将晶圆箍牢.该装置可取代手动装置,为各种粘片机提供配套设备.

关 键 词： 封装 扩晶装置 分离晶圆 结构设计 张紧力 调节控制

分 类 号： [TN]

领　　域： [电子电信]