中文会议： 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会论文集

会议日期： 2009-08-12

会议地点： 哈尔滨

主办单位： 中国微米纳米技术学会

作　　者： ; ; ; ; ; (王波）; (孔延梅）; (付建国）; (郑莹）; (吕金光）; (粱中翥）;

机构地区： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

出　　处： 《中国微米纳米技术学会第十一届学术年会》

摘　　要： 傅里叶变换光谱仪(FTS)由于具备多通道和高通量的优点，在光谱分析中有着广泛的应用。但传统的FTS较为笨重，不便于携带和移动，使其应用受到限制，随着微光机电系统(MOEMS)技术的发展与日益成熟，FTS呈现出向微型化发展的趋势。傅里叶变换光谱技术从实现方式上可以分为时间调制和空间调制两大类。近几年，国外开展了微型FTS的研究，大部分基于时间调制方式。这种调制方式的光谱仪需要高精度的动镜驱动系统，通过驱动器来控制反射镜运动从而改变其空间位置以获得不同时刻的干涉图，这使得系统加工和装调都比较困难，重复性较差；并且时间调制方式不能实现实时测量，这都成为制约其发展的瓶颈。与时间调制方式相比，空间调制方式的光谱仪结构中没有可动部件，从而使得系统具备稳定性好，结构紧凑等优点，并且能够实现光谱的实时测量。本文提出了一种新型空间调制微型FTS，介绍了其分光干涉系统及工作原理；设计并加工制作了准直器和分束器等元器件；研究了其核心部件多级微反射镜的制作方法，并制作了硅基多级微反射镜。实现了系统的初步装调和集成。

关 键 词： 傅里叶变换光谱仪 光谱分析 空间调制 准直器 分束器

分 类 号： [TH]

领　　域： [机械工程]