中文会议： 大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集

会议地点： 杭州

出版方 ： 中国光学学会

作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院物理系

出　　处： 《中国光学学会2004年学术大会》

摘　　要： 以C语言为开发工具,成功设计和编制一套椭偏测厚仪数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)～(Ψ,?)列线图的功能。可以配合常规椭偏仪使用,扩展测量膜厚范围,提高测量和求解精度,增加实验内容。实验测试了硅衬底和玻璃衬底表面薄膜的厚度和折射率,并与国外仪器和文献比较,得到相近的结果。实验表明:本软件的求解结果是准确的和可靠的,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01nm和

关 键 词： 椭圆偏振术 椭偏仪 数据处理 软件 薄膜

分 类 号： [TH821.1]

领　　域： [机械工程] [机械工程]